【CNML格式】 【大 中 小】 【打 印】  【 第1頁 第2頁 第3頁 第4頁 第5頁 】  探訪IC裝備業“隱形冠軍”（組圖） http://www.CRNTT.com   2015-08-18 15:26:57 工作人員在組裝6英寸大規模集成電路專用薄膜設備（PECVD設備）（8月14日攝）。一家名不見經傳的小公司，藏身於瀋陽市渾南區一處僻靜小院，投資僅3億多元，歷時短短四五載，就一舉突破少數國際巨頭的壟斷，在全國首次實現大規模集成電路專用薄膜設備（PECVD設備）的量產，被譽為IC裝備業界的“隱形冠軍”。它就是瀋陽拓荊科技有限公司。新華社   【 第1頁 第2頁 第3頁 第4頁 第5頁 】　 【CNML格式】 【大 中 小】 【打 印】