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| 法國研究所暗室中的小型曝光機 |
2016年，紫光集團與國家集成電路產業投資基金、湖北科投等合資成立了長江存儲，註冊資本額為人民幣386億元。長江存儲公司是中國高端芯片聯盟發起單位之一，被寄望推動中國半導體產業自主研發。
據快科技等報道，長江存儲訂購的這台光刻機採用193nm沉浸式設計，可生產20－14nm工藝的3D NAND閃存晶圓，售價達7200萬美元，約合人民幣4.6億元。
目前，該機已經運抵武漢天河機場，相關入境手續辦理完畢後，即可運至長江存儲的工廠。
根據官網資料，2016年底，國家存儲器基地項目（一期）一號生產和動力廠房在武漢正式開工建設，2017年9月底提前封頂，2018年4月5日首批價值400萬美元的精密儀器進場安裝。
目前，長江存儲擁有完全自主知識產權的32層堆叠3DNAND閃存已經開始試產，不少產業鏈企業都拿到了樣片測試，預計今年第四季度量產。同時，長江存儲還在推進64層堆叠3D閃存，力爭2019年底實現規模量產，將與世界領先水平差距縮短到2年之內。
中芯國際進軍“7納米”時代
每經小編注意到，2000年成立的中芯國際（SMIC）總部位於上海。在港股上市的中芯國際據稱是中國大陸規模最大、技術最先進的集成電路芯片製造企業之一。
據日經亞洲評論報道，儘管中芯國際在這一市場仍落後於市場領先者兩至三代技術，但是購買到目前世界最先進的EUV光刻機，彰顯了其努力追趕的決心。
了解到，EUV是目前世界上最昂貴也是最先進的芯片生產工具。小於5納米的芯片晶圓，目前只能用EUV光刻機生產。三星電子和台積電目前正競爭生產7納米工藝技術芯片，這兩家都訂購了阿斯麥公司的EUV光刻機。
中芯國際這次引進的EUV光刻機預計將於2019年初交付。而在2017年3月，中芯國際宣布將進軍7納米工藝技術的研發。
有芯片行業高管表示，
“購買這樣的機器雖然不能保證100%成功，但這至少顯示了中芯國際自主研發的決心和動力。”
光學研究機構人士表示，
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