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中國22納米技術獲重大突破 趕上英特爾

http://www.chinareviewnews.com   2013-07-09 11:00:26  


 
  壓力山大時間節點見真章

  “4年之前,對22納米項目能否成功有著各種各樣的猜測。對此,我們非常理解,畢竟這是一個難度極大的項目。”趙超說。

  在此之前,我國曾有過幾次建設集成電路研發中心的努力,但都沒有達到預期戰略目標。面對國家數億元的大投入和高期待,以及業界同行們的高度關注,幾位“千人計劃”專家承受著巨大壓力。

  “做這項大工程,我們有一兩年都睡不好覺,‘壓力山大’啊!”趙超在回憶道,“你能明顯感到別人質疑的目光,卻無法解釋。我們真有點像挖山的愚公,只能希望用勞作來感動上天。”

  在2012年4月,當第一個驗證工藝設備器件研製出來時,團隊所有人都擠在那小小的示波器前等待結果。

  當在看到驗證的原理器件出來的那一刹那,在場的所有人都“眼淚汪汪”的。

  這項工程不僅面臨著從無到有的技術難度,還面臨著幾乎不可能完成的時間節點。

  由於資金等現實問題,閆江的工藝整合集成子課題的完成時間被迫由兩年時間縮短至7個月。

  為了保證任務按時完成,閆江要保證每批次的流片實驗一次成功。為此,他與工藝線上的30多位工程師每天仔細地檢測各個工藝步驟是否符合設定的特性,將差錯的苗頭消滅在第一時間,保證每一步流片的質量。

  在7個月內,線上的工程師一度24小時連軸轉,片子從這個機台出來就被抱著跑向下一個機台。就這樣,他們用15天跑完了全程近300道工藝步驟的流程,達到工業界研發的最快速度。

  最終,6個批次的流片實驗全部一次成功,團隊按時完成了工藝整合集成的項目任務。
 


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